設備：AFM粗糙度測試儀Dimension ICON

廠商：德國 Bruker

用途：通過探測微細針尖和樣品原子團之間相互作用力的變化來檢測樣品表面的高低起伏，具有原子級分辨率的表面形貌和表面特性分析。檢測固體材料粗糙度和局部形貌

技術指標：

l  最大掃描范圍：10umX10um，最小值：10nmX10nm

l  樣品臺尺寸：φ35mm

l  表面粗糙度：最大值為1μm

l  測試模塊：形貌測試、導電性能測試、靜電力測試、表面電勢測試、磁學測試、納米力學測試

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